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電子級 全氟丁基磺酸-4-環(huán)己基苯基二苯基硫鎓鹽

(4-cyclohexylphenyl)diphenylsulfonium 1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate

產品編號 CAS No. MDL No. PubChem ID 分子式 分子量 純度 外觀
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英文名稱 (4-cyclohexylphenyl)diphenylsulfonium 1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate
中文名稱電子級 全氟丁基磺酸-4-環(huán)己基苯基二苯基硫鎓鹽
CAS號425670-64-0
產品編號YH82007
分子式C28H25F9O3S2
分子量644.61

電子級全氟丁基磺酸-4-環(huán)己基苯基二苯基硫鎓鹽是一種高純度光敏化合物,廣泛應用于半導體光刻膠材料和微電子制造。該化合物以其優(yōu)異的化學穩(wěn)定性和光響應性能滿足先進工藝的嚴苛需求,適用于深紫外(DUV)和極紫外(EUV)光刻技術。

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【物理性質】

基本信息

1)分子式:C28H25F9O3S2

2)分子量:644.61 g/mol

外觀與純度

1)外觀:白色至淺黃色結晶粉末。

2)純度:≥99.5%(電子級)。

物理參數

1)熔點:150–180°C

2)溶解性:易溶于乙腈、丙酮等極性有機溶劑。

3)熱穩(wěn)定性:高溫條件下不易分解。

4)光化學活性:在深紫外光區(qū)域具有良好的光敏響應。

【應用領域】

半導體光刻工藝

1)用作光刻膠中的陽離子光引發(fā)劑,增強光刻膠的化學放大效果。

2)適用于深紫外和極紫外工藝中的高精度光刻應用。

電子封裝材料

1)在電子封裝中用作抗蝕劑,提高絕緣性能與耐熱性能。

2)支持高密度集成電路(IC)封裝的加工需求。

功能性涂層開發(fā)

1)用于光學涂層材料,提升耐候性和光學透明度。

2)在顯示屏行業(yè)中用于生產低反射、高透光率的保護涂層。

【總結】

電子級全氟丁基磺酸-4-環(huán)己基苯基二苯基硫鎓鹽因其高純度和優(yōu)異的光化學性能,是現代半導體制造與光刻技術的重要基礎材料,為提升生產效率和精密度提供了保障。


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